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半导体设备脚轮

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国内某头部晶圆厂在建设先进制程洁净车间时,对FOUP搬运小车的脚轮提出极高要求:

✔ 超净不掉屑 ✔ 防静电不积尘 ✔ 耐清洗剂不老化 ✔ 运行安静不抖动

我们为其推荐并交付了科顺(COLSON)专为半导体环境设计的 CleanTrek™ 无尘导电脚轮

✅ 经产线实测:连续运行2年零更换,颗粒污染达标ISO Class 1;

✅ 工程团队验收通过,并已推广至全部主力产线;

✅ 全球主流光刻机、刻蚀设备厂商(ASML、TEL、Lam等)均采用同系列脚轮

—— 洁净,从每一颗可靠转动的轮子开始。


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