半导体设备脚轮

国内某头部晶圆厂在建设先进制程洁净车间时,对FOUP搬运小车的脚轮提出极高要求:
✔ 超净不掉屑 ✔ 防静电不积尘 ✔ 耐清洗剂不老化 ✔ 运行安静不抖动
我们为其推荐并交付了科顺(COLSON)专为半导体环境设计的 CleanTrek™ 无尘导电脚轮。
✅ 经产线实测:连续运行2年零更换,颗粒污染达标ISO Class 1;
✅ 工程团队验收通过,并已推广至全部主力产线;
✅ 全球主流光刻机、刻蚀设备厂商(ASML、TEL、Lam等)均采用同系列脚轮。
—— 洁净,从每一颗可靠转动的轮子开始。